A plazma felülettisztítás egy olyan eljárás, amelyben a minta felületének szennyeződéseit nagy energiájú plazma létrehozásával távolítják el a gáznemű részecskékből, különféle alkalmazásokhoz tervezték, mint például felülettisztítás, felületi sterilizálás, felületaktiválás, felületi energia megváltoztatása, felület előkészítése ragasztáshoz és adhézióhoz, felületi kémia módosítása.